纳米工艺下，不要混淆Precision,Layout Precision的含义

pqzhu

在纳米工艺下，工艺尺寸达到了14nm, 7nm等很小的尺寸，常用的1微米 = 1000 个数据库单位的表示会导致精度不够，因此，出现了Precision的新的定义。
之前，普通的DRC Code中，定义如下：
PRECISION 1000
LAYOUT PRECISION 1000
可以看到，它的PRECISON定义都是1000，由于这2个数据完全一致，因此不会造成混淆。
但是，如果进入14nm, 7nm工艺，上述定义会修改为：
PRECISION 2000（或者5000,10000）
LAYOUT PRECISION 1000
可以看到，PRECISION的值与LAYOUTPRECISION的值不一致了。为什么会出现不一致的定义呢？
PRECISON定义为2000的含义是：1微米的长度在DRC工具计算时自动转换为2000 的整数，而不是1000。它的用途是：当出现45度斜线时，由于所有的版图坐标数据都用整数表示，在45度线上的某些点坐标可能计算结果是： 0.4565，如果PRECISON = 1000，则整数值是456.5，它必须做四舍五入的取整，导致出现误差。
如果PRECISION = 2000，则0.4565的整数值为913，它没有出现任何误差，因此计算精度更准确。
那么，Layout Precision的含义是什么呢？它的含义是：DRC工具在在读gds文件时，gds文件中的数据库单位与1微米的比值关系。一般情况下，这个数据是1000。
由于PRECISION = 2000 ，与LAYOUTPRECISION = 1000 的数字不一致，假设一个图形的原始宽度为0.05微米，它在gds文件中的值是50，当读入DRC工具后，DRC工具自动把这个数据变化为100，报错的最终结果也会按照100这个数据输出到DRC RESULTS DATASE的文件中。
如果用户不做任何设置，直接用RVE工具打开报错结果，会发现报错的位置与版图的位置对不上。原因是：RVE默认版图的precision = 1000，但是DRC工具输出的结果都是按照1微米=2000的数据输出的，二者不匹配。
为了解决上述问题，用户需要在RVE界面中设置如下：

在Setup的Option中设置Highlighting参数，把LayoutHighlighting的Magnify highlight coordinates by设置为2 （2000/1000= 2)，则报错结果可以正常反标到layout中。
那么，DRC Code设置好后，TestPattern自动生成工具scout需要如何设置才能与其一致呢？
当Precision/LayoutPrecision的比值等于10时，其含义是：DRC工具自动把test pattern的版图放大10倍去检查，为了满足这一条件，Scout工具要求在RuleEditor的Technology界面中设置如下：

用户在MagnifyResults中填写10倍的数字，则工具自动会把testpattern.gds的版图扩大10倍。同时注意，由于scout工具支持externalgds的输入，如果用户原始的externalgds并没有手工做放大10倍，则把ExternalGDS勾中后，工具自动会按照externalgds的版图放大10倍后放入testpattern.gds中。工具在对externalgds进行操作时并不改变原始externalgds的文件内容，而是对其进行了copy后进行操作，不会影响用户原始的externalgds 的数据。如果用户已经对externalgds的图形手工进行了放大10倍，则用户不要够钟ExternalGDS的按钮。
上述数值设置好后，用户可以点击Scout工具的GenerateTest Pattern来生成版图并进行验证。在验证过程中，工具会自动对Pattern Bound进行等比例放大，满足Incomplete检查的要求。
同理，针对RCX Runset的TestPattern自动生成工具Tuta，用户可以设置如下：

在LayoutPrecision中选择与DRC Code/LVS Code中设置一致，在本例中，由于LAYOUT Precison等于1000，因此，工具界面中设置为1000。
DRC Code经常还有另外一种写法，如下：
PRECISION 2000
LAYOUT PRECISION 1000
LAYOUT MAGNIFY AUTO
它的含义是：由于PRECISION与LAYOUTPRECISION不一致，DRC工具在做运算时，首先自动把gds文件的坐标扩大2倍，这样gds数据库的数据与DRC处理时的内部数据完全一致。在这种条件下，test pattern自动生成工具就不需要再去设置放大倍数了，RVE工具也不需要再去设置放大倍数了，因为DRC工具的输入数据和输出报错数据，都已经自动把数据库单位保持一致了。