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[资料] 电磁能源辅助的湿化学蚀刻用于开发用于微机电系统的石英晶体

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工程师助理

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发表于 2023-3-27 11:17:51 | 显示全部楼层 |阅读模式
本文将重点改进石英晶体的加工方法,但这些加工方法并不局限于石英,也可以应用于任何压电材料。今天几乎所有的电子设备都需要一个石英晶体谐振器。石英晶体以音叉的形式被用作定时装置,或作为通常的频率在MHz范围内的频率参考。调谐叉通常具有32 kHz的频率,然后该频率信号被转换为一秒脉冲以用于定时设备。频率参考用于推导用于通信的频率。频率参考的一个例子是在全球定位系统(GPS)中使用的振荡器,通常使用一个频率在8到20 MHz范围内的振荡器。从振荡器开始的频率乘以信号频率,GPS的信号频率分别为1.57542 GHz(LI)和1.2276 GHz。目前,石英晶体是单独修剪和包装的。它需要相当多的时间,并使高频谐振器的进一步小型化复杂化。通常,石英晶体的前置时间在6到8周之间。本研究表明,当石英湿蚀刻时,谐振器的频率调谐可以实现晶片级集成,从而消除了多个调谐步骤的需要。(江苏英思特半导体科技有限公司)
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石英晶体振荡器



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发表于 2023-12-30 21:45:00 | 显示全部楼层
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