电磁能源辅助的湿化学蚀刻用于开发用于微机电系统的石英晶体

小英说半导体

本文将重点改进石英晶体的加工方法，但这些加工方法并不局限于石英，也可以应用于任何压电材料。今天几乎所有的电子设备都需要一个石英晶体谐振器。石英晶体以音叉的形式被用作定时装置，或作为通常的频率在MHz范围内的频率参考。调谐叉通常具有32 kHz的频率，然后该频率信号被转换为一秒脉冲以用于定时设备。频率参考用于推导用于通信的频率。频率参考的一个例子是在全球定位系统（GPS）中使用的振荡器，通常使用一个频率在8到20 MHz范围内的振荡器。从振荡器开始的频率乘以信号频率，GPS的信号频率分别为1.57542 GHz（LI）和1.2276 GHz。目前，石英晶体是单独修剪和包装的。它需要相当多的时间，并使高频谐振器的进一步小型化复杂化。通常，石英晶体的前置时间在6到8周之间。本研究表明，当石英湿蚀刻时，谐振器的频率调谐可以实现晶片级集成，从而消除了多个调谐步骤的需要。（江苏英思特半导体科技有限公司）

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石英晶体振荡器