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[求助] Sentaurus仿真栅电极问题

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实习生

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发表于 2023-5-29 15:30:04 | 显示全部楼层 |阅读模式
最近在仿真一个MOSFET器件特性,但是在看电势图的时候发现栅电极那里有些问题:栅是金属,不会有电势差的Q:我的仿真图像显示栅上竟然有电势差!!!!
十分不理解,后来看了一下资料,想着有可能是我的电极接触(contact)设置错了,因为我的栅大约有5nm厚,contact我只是设置在表面上了,资料上说要设置整个区域(如下图所示)


然后我按照上面的步骤设置了栅接触,但是我并不理解为什么最后一步要删除栅区域,所以最后一步并没有做。最后的仿真结果显示栅上面还是会有电势差!

所以在这里请教一下大家这是怎么回事呢??能不能给个解决方案呢。。谢谢了

PS:在仿真过程中我发现在做这几步后,显示的结果感觉只是栅的四周设置了接触,栅的内部还是没有用相应接触颜色表示出来。

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