請問一下 MIM 電容的準確度如何?

daidai · 发表于 2023-5-22 10:06:03

請問一下 MIM 電容的準確度如何?

jeff · 发表于 2023-5-22 10:06:57

您指的是 metal-insulation(SiO2)-metal的電容嗎?
基本上這是最基本的雙層板電容,若layout的好的話,電容值比較能掌握,目前的製程在metal的L,W及oxide的厚度上!
都不錯了,也就是關係到電容值的變數其誤差都不會很大,只要能注意到雜散電容的問題,我想是可以做的蠻準的.
但再怎麼準,有個30%以上的誤差在你的設計上仍是必須是要可以接受的);
不過MIM的電容值每個square實在是很小,說實在的,不見的很實用~

populaa · 发表于 2023-12-30 20:54:40

谢谢分享

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